DUV是目前比较成熟的方案，现阶段最高采用193nm波长的深紫外光源，被广泛应用在7nm以及7nm以前的工艺里。
而伴随着工艺的继续微缩，DUV已经力不从心，就需要使用极紫外光光源的EUV设备了。
所以徐川才对这位丁蔀长所说的7纳米这么惊讶。
因为按照他的了解，老实说这的确不是华国现在就做出来了的东西。
虽然丁经国说还有难题未突破，但能这么说，那就肯定只差最后一点点了。
徐川惊讶的是，国家这些年暗地里瞒着米国等西方国家搞了不少的动作啊。
不愧是兔子，狡兔三窟，犹有过之。
丁经国笑了笑，道：“说起来，这还得多感谢徐院士您。”
“我？”徐川好奇的看了他一眼。
丁经国点了点头，笑着道：“您可能不怎么关心这方面东西，但国家会永远铭记您对祖国的贡献。”
“在18年的时候，您带领团队完成了《核能β辐射能聚集转换电能机制项目》，利用这项技术，我们从别的国家手中交易到了一些原本处于禁售或者不出售的科技，以及设备。”
内容未完，下一页继续阅读