“比如电弧放电法、激光烧蚀法,化学气相沉积法等方法来制备碳基芯片。”
“但目前来说这些技术还远远比不上传统的光刻技术成熟,且在制备出来的芯片进程上要更大。”
“比如之前我们尝试过使用电弧放电法和激光烧蚀法来制备碳基芯片,两者能做到的芯片进程一个在微米级,另一个虽然达到了纳米级,但也超过了五百纳米。”
“要想绕开光刻机这一关键技术去加工雕刻碳基芯片,目前来说几乎不可能,很难很难。”
简单的解释了一下,赵光贵的目光落在手中的芯片上。
事实上,想要绕开光刻机去制备碳基芯片的,又何止是眼前这位一个。
其他的不说,华威海思、中芯国际,甚至联发科,台积电,英特尔等等的半导体晶圆代工厂都想找到一条绕开光刻机加工芯片的道路。
这段时间他负责和华威海思、中芯国际等团队的人配合生产研究碳基芯片的时候,也向那些专业的芯片研发人员咨询过这个问题。
这条路不是那么容易走的。
人类在半导体的发展上走了几十年,才最终确定了硅基芯片这条路。
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