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第一七一九章 一起吃年饭 (1 / 3)

作者:解剖老师 最后更新:2025/8/26 9:15:11
        “董事长,浸没原理虽然是我第一个公开提出来的,但bsec的邓院士和钱所长带领bsec光源研究所,在攻克光刻机光源波长193nm的世界性难题进行了近十年的潜心研究,在我之前就提出来以纯净水作为光源介质的研究新路径,在国际光学和光刻机权威杂志上发表了数十篇有影响力的论文,通过实验论证了浸没原理的可行性,在浸没原理方面的研究成果远远走在了我们和asml的前面,我当时就预感,他们通过纯净水作为光源介质,已经攻克了193nm波长光源的世界性难题,研制成功了134nm波长光源的激光器。”

        林本坚的面色发红,虽然没有有意抄袭bsec专利技术的企图,但在研发的过程中,发现bsec不仅研发成功了浸没式光学系统和浸没式光刻机,还在世界专利局申请了9项技术专利,其中就包括以纯净水作为光源介质的专利技术,他的团队和asml研究所只好硬着头皮继续沿着这条路径研发下去,最后研究成功,还向世界专利局申请了发明专利,但按照专利技术申请的先后顺序,就是侵犯了bsec的专利技术。

        林本坚到如今也不理解,bsec为什么当时不在gca

        euv光刻机公司公开euv激光器之前,对外公布攻克了193nm波长光源的世界性难题?

        “董事长,bsec是去年6月22日在大陆专利局和世界专利局同时申请9项公司发明专利,其中就包括以纯净水作为光源介质的专利技术,如今都处于公示阶段,按照世界专利局的申请流程,要到2006年1月才能批准bsce的9项公司发明专利。我会请普拉多提前向bsec申请以纯净水作为光源介质的专利授权,我们争取2006年5月拿到20台xt

        1400i浸没式光刻机。”

        林本坚也知道孙健旗下的tic是asml的第二大股东,淘宝控股公司是bsec的控股股东,只要孙健点头,一切都好办,但asml生产的浸没式光刻机到货起码要比原计划晚大半年。

        bsec已经提出了专利异议,世界专利局将按照复议程序停止asml提出的浸没式光刻机和浸没式光学系统的专利申请,asml就要停止生产xt

        1400i浸没式光刻机,暗地里生产就是侵权行为,一旦被bsec知晓,asml休想拿到bsec的专利授权。

        -------

        “大舅、大姑,各位长辈,今天我们沾国足的光,我第一次有机会将各位长辈请到一起吃年饭,一起过春节,这段时间,大家要吃好、喝好、玩好,废话就不多说了!我一口干,各位长辈随意。”

        2月8日,大年三十。

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